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高溫四探針測試儀測試電阻率的原理及優(yōu)勢

日期:2021-09-26瀏覽:1279次

可評估薄膜導(dǎo)電性能的高溫四探針測試儀采用直排四探針法設(shè)計(jì)原理測量。主要用于評估半導(dǎo)體薄膜和薄片的導(dǎo)電性能,參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)。重復(fù)性與穩(wěn)定性更好,采用雙屏蔽高頻測試線纜,提高測試參數(shù)的精確度,同時(shí)抗干擾力更強(qiáng)。本設(shè)備也可應(yīng)用于產(chǎn)品檢測以及新材料電學(xué)性能研究等用途。

高溫四探針測試儀的測量原理

  • 測量電阻率的方法很多,如三探針法、電容-電壓法、擴(kuò)展電阻法等,四探針法則是一種廣泛采用的標(biāo)準(zhǔn)方法,高溫四探針測試儀采用經(jīng)典直排四探針原理,同時(shí)采用了雙電測組合四探針法。

  • 經(jīng)典的直排四探針法測試電阻率,要求使用等間距的探針,如果針間距離不等或探針有游移,就會造成實(shí)驗(yàn)誤差。當(dāng)被測片較小或在大片邊緣附近測量時(shí),要求計(jì)入電場畸變的影響進(jìn)行邊界修正。

  • 采用雙電測組合四探針的出現(xiàn),為提高薄膜電阻和體電阻率測量度創(chuàng)造了有利條件。

高溫四探針測試儀采用雙電測組合四探針法的優(yōu)勢


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